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Fabrication of PECVD-grown fluorinated hydrocarbon nanoparticles and circular nanoring arrays using nanosphere lithography

Sarkar Dilip K. et Farzaneh Masoud. (2008). Fabrication of PECVD-grown fluorinated hydrocarbon nanoparticles and circular nanoring arrays using nanosphere lithography. Applied Surface Science, 254, (13), p. 3758-3761.

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URL officielle: http://dx.doi.org/doi:10.1016/j.apsusc.2007.11.053

Résumé

Nanosphere lithography (NSL) masks were created by spin-coating of polystyrene particles onto silicon surfaces. Fluorinated hydrocarbon films were coated on the nanosphere lithography masks using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) to obtain ordered arrays of fluorinated hydrocarbon. Atomic force microscope images show hexagonally ordered nanodots of dimension 225 ± 11 nm with a height of 23 ± 4 nm. Every hexagon encloses a circular ring of diameter 540 ± 24 nm having a height and width of 13.5 ± 0.6 nm and 203 ± 16 nm, respectively. FTIR analysis shows two distinct zones of atomic bonding of CHx and CFx in the plasma coated ordered fluorinated hydrocarbon films.

Type de document:Article publié dans une revue avec comité d'évaluation
Volume:254
Numéro:13
Pages:p. 3758-3761
Version évaluée par les pairs:Oui
Date:30 Avril 2008
Sujets:Sciences naturelles et génie > Génie > Génie des matériaux et génie métallurgique
Département, module, service et unité de recherche:Départements et modules > Département des sciences appliquées > Module d'ingénierie
Mots-clés:Nanosphere lithography, Plasma-enhanced chemical vapor deposition, Nanodots, Nanorings, Nanosphere lithographie, Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma, nanobagues
Déposé le:30 sept. 2015 22:28
Dernière modification:09 déc. 2016 13:35
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