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A system in package based on a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer matrix for ranging applications

Robichaud Alexandre, Deslandes Dominic, Cicek Paul-Vahé et Nabki Frederic. (2021). A system in package based on a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer matrix for ranging applications. Sensors, 21, (8), p. 2590.

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URL officielle: https://dx.doi.org/doi:10.3390/s21082590

Résumé

This paper proposes a system in package (SiP) for ultrasonic ranging composed of a 4 × 8 matrix of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUT) and an interface integrated circuit (IC). The PMUT matrix is fabricated using the PiezoMUMPS process and the IC is implemented in the AMS 0.35 µm technology. Simulation results for the PMUT are compared to the measurement results, and an equivalent circuit has been derived to allow a better approximation of the load of the PMUT on the IC. The control circuit is composed of a high-voltage pulser to drive the PMUT for transmission and of a transimpedance amplifier to amplify the received echo. The working frequency of the system is 1.5 MHz.

Type de document:Article publié dans une revue avec comité d'évaluation
Volume:21
Numéro:8
Pages:p. 2590
Version évaluée par les pairs:Oui
Date:7 Avril 2021
Sujets:Sciences naturelles et génie > Génie
Sciences naturelles et génie > Génie > Génie électrique et génie électronique
Sciences naturelles et génie > Sciences appliquées
Département, module, service et unité de recherche:Départements et modules > Département des sciences appliquées > Module d'ingénierie
Mots-clés:piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUT), high voltage pulser, transimpedance amplifier (TIA), regulated cascode (RGC), transducteurs piézoélectriques micro-usinés à ultrasons (PMUT), générateur d'impulsions haute tension, amplificateur à transimpédance (TIA), cascode régulé (RGC)
Déposé le:22 juin 2021 18:41
Dernière modification:22 juin 2021 18:41
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