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Electromechanical tuning of piecewise stiffness and damping for long-range and high-precision piezoelectric ultrasonic transducers

Robichaud Alexandre, Deslandes Dominic, Cicek Paul-Vahe et Nabki Frederic. (2020). Electromechanical tuning of piecewise stiffness and damping for long-range and high-precision piezoelectric ultrasonic transducers. Journal of Microelectromechanical Systems, 29, (5), p. 1189-1198.

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URL officielle: http://dx.doi.org/doi:10.1109/JMEMS.2020.3005917

Résumé

This paper presents a novel technique for quickly deactivating piezo-electric micromachined ultrasonic transducers (PMUT) in order to increase their potential for acoustic imaging. The proposed PMUT is anchored by four arms and surrounded by two mechanical dampers. The dampers are moved using electrostatic actuators in order to come into contact with the PMUT. By doing so, the resonant frequency of the PMUT can be shifted and the amplitude at the working frequency can be reduced. Measurement results show that this technique can effectively dampen the displacement of the PMUT.

Type de document:Article publié dans une revue avec comité d'évaluation
ISSN:1057-7157
Volume:29
Numéro:5
Pages:p. 1189-1198
Version évaluée par les pairs:Oui
Date:2020
Identifiant unique:10.1109/JMEMS.2020.3005917
Sujets:Sciences naturelles et génie > Génie
Sciences naturelles et génie > Génie > Génie électrique et génie électronique
Sciences naturelles et génie > Sciences appliquées
Département, module, service et unité de recherche:Départements et modules > Département des sciences appliquées > Module d'ingénierie
Mots-clés:resonant frequency, actuators, shock absorbers, transducers, damping, acoustics, springs, fréquence de résonance, actionneurs, amortisseurs, transducteurs, amortissement, acoustique, ressorts, piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUT), electrostatic actuator, electromechanical damper, mechanical displacement damping, resonant frequency shift
Déposé le:22 juill. 2021 15:20
Dernière modification:22 juill. 2021 15:20
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