Sarkar Dilip K. et Farzaneh Masoud. (2008). Fabrication of PECVD-grown fluorinated hydrocarbon nanoparticles and circular nanoring arrays using nanosphere lithography. Applied Surface Science, 254, (13), p. 3758-3761.
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URL officielle: http://dx.doi.org/doi:10.1016/j.apsusc.2007.11.053
Résumé
Nanosphere lithography (NSL) masks were created by spin-coating of polystyrene particles onto silicon surfaces. Fluorinated hydrocarbon films were coated on the nanosphere lithography masks using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) to obtain ordered arrays of fluorinated hydrocarbon. Atomic force microscope images show hexagonally ordered nanodots of dimension 225 ± 11 nm with a height of 23 ± 4 nm. Every hexagon encloses a circular ring of diameter 540 ± 24 nm having a height and width of 13.5 ± 0.6 nm and 203 ± 16 nm, respectively. FTIR analysis shows two distinct zones of atomic bonding of CHx and CFx in the plasma coated ordered fluorinated hydrocarbon films.
| Type de document: | Article publié dans une revue avec comité d'évaluation |
|---|---|
| Volume: | 254 |
| Numéro: | 13 |
| Pages: | p. 3758-3761 |
| Version évaluée par les pairs: | Oui |
| Date: | 30 Avril 2008 |
| Sujets: | Sciences naturelles et génie > Génie > Génie des matériaux et génie métallurgique |
| Département, module, service et unité de recherche: | Départements et modules > Département des sciences appliquées > Module d'ingénierie |
| Mots-clés: | Nanosphere lithography, Plasma-enhanced chemical vapor deposition, Nanodots, Nanorings, Nanosphere lithographie, Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma, nanobagues |
| Déposé le: | 30 sept. 2015 22:28 |
|---|---|
| Dernière modification: | 09 déc. 2016 13:35 |
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