Verreault Antoine, Cicek Paul-Vahé et Robichaud Alexandre. (2022). A Surface-Micromachined Levitating MEMS Speaker. Dans : 2022 20th IEEE Interregional NEWCAS Conference (NEWCAS) , Quebec City, QC, Canada.
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URL officielle: https://doi.org/10.1109/NEWCAS52662.2022.9842083
Résumé
This paper presents the design and simulation of a levitating MEMS speaker. The device is composed of a levitating membrane actuated through electrostatic forces using several electrodes and a control system. The absence of supporting anchors allows for a drastic reduction of damping losses and therefore promises higher power efficiency. Simulation results indicate very promising performance.
| Type de document: | Matériel de conférence (Non spécifié) |
|---|---|
| Date: | 19 Juin 2022 |
| Nombre de pages: | 5 |
| Identifiant unique: | 10.1109/NEWCAS52662.2022.9842083 |
| Sujets: | Sciences naturelles et génie > Génie Sciences naturelles et génie > Génie > Génie électrique et génie électronique Sciences naturelles et génie > Sciences appliquées |
| Département, module, service et unité de recherche: | Départements et modules > Département des sciences appliquées > Module d'ingénierie |
| Liens connexes: | |
| Mots-clés: | dispositifs micromécaniques, évaluation des performances, micromechanical devices, performance evaluation, electrodes, damping, simulation, conferences, control systems, amortissement, systèmes de contrôle |
| Déposé le: | 20 févr. 2024 15:46 |
|---|---|
| Dernière modification: | 20 févr. 2024 15:46 |
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